Растровый электронный микроскоп Quanta 600 FEG


Сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии с комплексной системой микроанализа, состоящей из энергодисперсионного спектрометра, спектрометра волновой дисперсии и анализа структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции отраженных электронов.
Разрешение порядка 2 нм.

Разрешение по EDX-анализу 0,2-0,25% (по концентрации), для WDX разрешение по энергии 10 эВ. Определяет элементы с Be.

EBSD-анализ: Разрешение порядка 0,1 мкм.


Последнее обновление: 2009.01.24 17:45

© Copyright 2008, Белгородский государственный университет.

Научно-образовательный и инновационный центр «Наноструктурные материалы и нанотехнологии»

Разработка и техническая поддержка: E-mail: nechaenko@bsu.edu.ru