Сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии с комплексной системой микроанализа, состоящей из энергодисперсионного спектрометра, спектрометра волновой дисперсии и анализа структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции отраженных электронов.
Разрешение порядка 2 нм.
Разрешение по EDX-анализу 0,2-0,25% (по концентрации), для WDX разрешение по энергии 10 эВ. Определяет элементы с Be.
EBSD-анализ: Разрешение порядка 0,1 мкм.
Последнее обновление: 2009.01.24 17:45